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AstroPore PSEカートリッジUXL/PPEカートリッジUXL
大型液晶基板の洗浄工程に最適な、超高流量タイプの洗浄水用濾過フィルター
AstroPore(アストロポア) PSEカートリッジUXL/PPEカートリッジUXL
〜 専用ハウジング2種も同時発売 〜
新 発 売


平成19年8月30日
富士フイルム株式会社

 富士フイルム株式会社(社長:古森 重隆)は、大型液晶パネルのガラス基板製造に最適な、超高流量タイプの精密濾過フィルター(*1)「AstroPore PSEカートリッジUXL」と「AstroPore PPEカートリッジUXL」、ならびに専用ハウジング2種(PPタイプ・SUSタイプ)を9月1日より発売いたします。

 液晶パネルのガラス基板製造時には、表面に付着した微粒子を除去するために多量の洗浄水が用いられますが、近年のガラス基板の大型化にともない、洗浄水にもより高い流量が求められています。既存のフィルターで高流量を実現するためには、複数のフィルターの同時使用が必要となり、スペース効率や作業効率が低下するため、効率良く多量の濾過が行えるフィルター機能の向上が求められています。

 このニーズに対応するため、富士フイルムは、独自の高分子製膜技術を駆使した非対称ポリスルフォン膜(PSE膜)(*2)を採用した「AstroPore PSEカートリッジUXL」と、ポリプロピレン不織布(*3)を採用した「AstroPore PPEカートリッジUXL」を開発しました。カートリッジ内の膜面積を増加させるとともに濾過能力を最適化する構造としたことで、超高流量を実現します。
 「PSEカートリッジUXL」で使用する当社独自の非対称PSE膜は、入口側の孔径を大きく、徐々に緻密化し、再び出口側の孔径を大きくするというフィルター全体で段階的に濾過する構造としたことで、高い捕捉性と高流量、ロングライフを実現します。求められる濾過のレベルに合わせた4グレード(0.1μm、0.2μm、0.45μm、1.2μm)をラインアップし液晶パネルのガラス基板洗浄の最終工程で多用される0.2μmのグレードでは、1本のフィルターで標準的なフィルターの約5倍(*4)となる300L/min(*5)の流量を可能としました。
 「PPEカートリッジUXLタイプ」も4グレード(2.5μm、4.5μm、10μm、20μm)をラインアップしました。洗浄工程で除去したい粒子サイズの濾過レベルに合わせて、酸・アルカリ、各種有機溶剤など耐薬品性に優れた「PPEカートリッジUXLタイプ」と、微粒子捕捉性能に優れた「PSEカートリッジUXL」を最適な組み合わせで選択いただけます。また、外形サイズを同じにすることで、ユーザーの製造プロセス変更に伴うフィルターの組換えにも柔軟に対応できます。

 さらに、今回発売する超高流量なフィルターの性能を十分に発揮させる2種類の専用ハウジングも開発しました。ハウジング本体の優れた設計により、圧力損失をおさえ、使いやすさと強度を両立した構造にしました。ハウジングのタイプは、比較的圧力の低い工程で利用するPPタイプ(ポリプロピレン)と、圧力の高い工程で利用するSUSタイプ(ステンレス)です。

 富士フイルムは、今回発売する2品種を加えた豊富なラインアップで、電子工業や製薬、食品といったさまざまな分野で使用されるミクロフィルターAstroPoreシリーズを、今後もさらに充実させ、お客さまのさまざまなご要望におこたえしていきます。

*1 
精密濾過フィルター
精密濾過とは、主に微粒子除去を目的に0.1μm以下から数十μmレベルで濾過することで、精密濾過フィルターは電子工業や製薬、食品、化学といった幅広い分野に渡り、洗浄用水や製品自体の濾過などに利用される。
 
*2
非対称ポリスルフォン膜
入り口側の孔径が粗く、徐々に緻密になっていく非対称構造のポリスルフォンを濾材とする膜。入り口付近で粗濾過を行い、出口側へと孔径の緻密化に伴い微細な粒子を補足していきます。
 
*3 
ポリプロピレン不織布膜
すぐれた耐薬品性を持つポリプロピレンを濾材とする緻密な不織布膜。酸化・アルカリや各種の化学薬品、フォトレジスト、溶剤の補足など、微粒子除去の前濾過に威力を発揮します。
 
*4
当社PSEカートリッジ比
 
*5
溶液の形態:純水、差圧(フィルターの入口と出口の圧力差):0.03Mpaでの当社実測値。





1. 発売日: 平成19年9月1日

2. 製品名: FUJIFILM ミクロフィルター AstroPore PSEカートリッジUXL
FUJIFILM ミクロフィルター AstroPore PPEカートリッジUXL
FUJIFILM ミクロフィルター AstroPore カートリッジハウジングPPタイプ
FUJIFILM ミクロフィルター AstroPore カートリッジハウジングSUSタイプ

3. ユーザー渡し価格  : オープン価格

4. 主な特長
 
【PSE-UXLタイプ】
独自の非対称構造を持つポリスルフォン膜を使用した、超高流量で高い微粒子捕捉性能を持った大型カートリッジ。
0.1μm〜1.2μmの4グレードをラインアップ。
0.2μm孔径では300L/minの超高流量を実現。
 
【PPE-UXLタイプ】
耐薬品性を持つポリプロピレンを濾材として使用。
酸、アルカリや各種の化学薬品、フォトレジスト、溶剤など、微粒子の多いプロセスの循環用フィルターとして最適。
2.5μm〜20μmの4グレードをラインアップ。
 
【ハウジング】
PSE-UXL, PPE-UXL専用に設計されたハウジング。
<PPタイプ:樹脂製>
樹脂製ハウジングは素材にポリプロピレンを使用。
堅牢な構造と使いやすさを追求、リングナット方式を採用。
高流量を想定して継手径は65Aまで対応可能。
比較的圧力の低い(0.49Mpa以下)のライン向け。
 
<SUSタイプ:ステンレス製>
本体材質はSUS316Lを使用。
本体には、脱着の容易なクランプ方式を採用。
継手径は50A(JIS10Kフランジ)。
比較的圧力の高いライン(0.97Mpa以下)向け。


FUJIFILM ミクロフィルター AstroPore PPEカートリッジUXL/PSEカートリッジUXL
FUJIFILM ミクロフィルター
AstroPore PPEカートリッジUXL/PSEカートリッジUXL
 
FUJIFILM ミクロフィルター AstroPore カートリッジハウジングSUSタイプ/PPタイプ
FUJIFILM ミクロフィルター
AstroPore カートリッジハウジングSUSタイプ/PPタイプ




本件に関するお問い合わせは下記にお願いいたします。
お客さま 産業機材部 TEL 03-6271-3008
報道関係 広報部 TEL 03-6271-2000
ウェブサイトアドレス  http://fujifilm.jp/business/material/microfilter/



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