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技術力

Materials09

有機物を溶かす

[写真]技術力09 有機物を溶かす

クリーナー(半導体プロセス材料)

半導体基板の洗浄と
不純物除去に用いられる洗浄薬液

レジストの除去からプロセス残渣の除去まで、半導体基板の幅広い製造プロセスに対応する洗浄薬液。半導体の製造において、製造プロセスが変わるごとに発生する半導体基板の「洗浄」と「不純物の除去」という"永遠のテーマ"の解決をサポート。

クリーナー(半導体プロセス材料)

コア技術
  • 粒子形成技術
  • 機能性分子
  • 機能性ポリマー
  • 酸化還元制御技術
  • ナノ分散技術
基盤技術
  • 材料化学
  • 光学
  • 当社独自

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