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VCSEL(光エレクトロニクス素子技術)

特性均一性に優れ高密度2次元集積化が可能な
面発光レーザーアレイ

複写機などの走査型露光装置の光源に用いられる、2次元配列・32チャンネルの面発光型半導体レーザー。光出力特性によるばらつきが1%以内に収まる高い特性均一性を持つとともに、「その場観察システム」により発光領域径を均一に保つ。

特性均一性に優れ高密度2次元集積化が可能な面発光レーザーアレイ

その場観察システム

肉眼では見ることができない発光領域径を、ウエハー面の光の反射率変化を利用して"見える化"することができる独自開発システムを採用。

その場観察システム

コア技術
  • システム設計
基盤技術
  • 光学

SLED(光エレクトロニクス素子技術)

自己走査機能を集積した高密度で大規模な
発光素子アレイ

発光機能と、複数の発光点を順次選択する自己走査機能を集積した発光サイリスタ半導体素子。1bitあたりわずか2個のサイリスタで構成することができ、小さな面積での集積が可能。複写機などのプリントヘッドの小型・低コスト化に貢献する。

自己走査機能を集積した高密度で大規模な発光素子アレイ

発光素子を高密度集積

自己走査機能により500個以上の発光素子を4~5本の信号線で駆動し、金配線数を大幅に削減。また、21µm間隔の素子集積で、1200dpiの高解像度画質を形成。

発光素子を高密度集積

コア技術
  • システム設計
基盤技術
  • 光学

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