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MEMS技術

特徴のある圧電膜を利用した
機械要素部品を設計/製造する技術

  • 圧電材料に関するナレッジと製膜/微細加工/高精度実装技術の融合により、迅速かつニーズにマッチしたMEMS設計・デバイス製造が可能

富士フイルムの圧電材料の特徴

[図]富士フイルムの圧電材料の特徴

[図]富士フイルムの圧電材料の特徴

インクジェットヘッドへの適用

逆圧電効果を利用して、高密度にノズルを2次元配列しコンパクトで長尺な高解像度のプリントヘッドを実現

[図]インクジェットヘッドへの適用

マイクロミラーへの適用

従来の圧電膜では不可能であった性能のデバイスを実現

[図]マイクロミラーへの適用

将来への可能性

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